压阻式传感器的应用
发布时间:2014.03.12 新闻来源: 浏览次数:
压阻式压力传感器也可以称之为扩散硅压力传感器,是热力传感器中极其重要的一种,广泛应用于航空、动力机械、气象地质勘测等各个领域,下面由安徽天康集团股份有限公司对其做一个简单的介绍:
1.压阻式压力传感器
压阻式压力传感器硅膜片两边有两个压力腔。一个是和被测压力相连接的高压腔,另一个是低压腔,通常和大气相通。
当压力P均匀作用在圆形硅膜片上时,膜片产生应力和应变,扩散在膜片上的电阻由于压阻效应产生相应的电阻变化,电桥失去平衡,其输出的电压与膜片两边的压力差成正比。
2.压阻式加速度传感器
压阻式加速度传感器结构:以硅悬臂梁作为敏感元件,在其根部上下表面扩散制作4个应变电阻,在其自由端装惯性质量块。当壳体作加速运动时,质量块产生惯性力从而使硅梁变形产生应力。这时硅梁上4个电阻条的阻值发生变化,使电桥产生不平衡,从而输出与外界的加速度成正比的电压值。
压阻式加速度传感器不适用于频率较高的振动和冲击场合,一般适用频率为10-60Hz范围。
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